六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。

六氟化硫在常溫常壓下為氣態(tài)，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃，常壓下升華點溫度為-63.8℃。

六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩(wěn)定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和氮氣相似。

六氟化硫氣體廣泛用于高壓，中壓電氣設備的絕緣材料和減弧介質(zhì)；金屬冶煉制造工藝的防氧化劑，氣象示蹤實驗和示蹤劑，制冷工藝的制冷劑和熱載體。

同時在醫(yī)療上用于X一射線裝置的絕緣體。還可用于制造單晶硅以及基礎(chǔ)理論科學研究等